1.制样要求：

样品要粘牢，样品不要超出丁字样品台边界，样品高度要注意（用SEM观察时要特别注意，不能碰到探头），粉末样品要用洗耳球吹扫去除容易洒落的粉末，不要做有磁性的粉末样品（磁性粉末样品易吸附在样品舱里的钢铁部件，难于清理，磁场也对电镜的工作有不良影响）。

2.开机前检查：

（1）查看仪器使用记录本，检查前一位操作者使用后仪器状况，查看有无通知注意事项。

（2）检查电源：UPS是否工作正常（FAULT、B.LOW、OVER L.报警灯不亮、UPS不走旁路BY-PASS），检查电源插座、插头是否接好，电源接通时电镜红灯应是亮起的。

（3）检查氮气气瓶总阀是否关好，流量气阀是否旋松。

（4）检查真空泵是否工作正常。

3.开机步骤：

（1）按下主机的黄色灯，待30秒后再按下绿灯。

（2）进入电脑系统，点击桌面上的“Smartsem”图标，查看显示的仪器状态（红色需特别注意，如出现红色项，说明仪器状态异常。若红色项为Vac错误项，则点击canncel项退出程序，重新启动Smartsem软件或关闭电脑系统后重启；若红色项为其它异常状态，请立即通知仪器管理员）。

（3）若仪器状态无任何异常，输入用户名和密码，进人仪器操作界面，用快捷键ctrl+G打开控制窗口。

（4）查看各个操作参数与上一操作者记录是否相符，例如灯丝电压（一般EHT Target = 15.00 kV）、灯丝电流（一般Fil I Target小于2.6 A）、数斑大小（Spot Size = 390）、不使用New Filament和Long Fil Life选项、样品台是否倾斜（查看Stage选项中T是否有数值）等，确认无任何异常状况。

（5）样品的放入：打开氮气钢瓶总阀，调节流量气阀，氮气流量要小于0.02Mpa（流量指针不要超过规定的刻度）；点击vent，3-5分钟后轻轻打开样品室门，将氮气钢瓶总阀关好，待总阀流量表中读数为0后将流量气阀旋松关闭气阀；带上无尘胶手套，放入丁字样品台，固定好；轻推样品室舱门关上，扶住样品室舱门，点击“pump”键开始抽真空。

4.观察样品：

（1）观察样品室内的真空度要小于5×10^-5mba，才能开灯丝（Beam on）。

（2）快扫Normal下选择区域，找准需要观察的样品后，进入TV模式下轻推Z轴调节工作距离（严禁样品触碰探头，最小工作距离8mm，注意只能在TV模式下调节工作距离，严禁在Normal模式下推动Z轴调节工作距离）。

（3）选区reduce下调整亮度和对比度、聚焦Focus、调像散Stigmation：点击操作栏右上角图标MAGWD，进入到放大聚焦操作，一般设置鼠标左键为放大缩小，鼠标中键为聚焦，鼠标右键为保存图片选项。点击Stigmation选项进入调节像散操作，点击上下左右调节像散。注意像散调节完毕后必需点击MAGWD图标，才能回复到放大聚焦的操作。

（4）扫描图片的保存：在scanning状态下，采用慢扫模式（大数值扫描速度），并选择背景校正和扫描点次数，点击freeze拍照，扫描结束在图像下方会出现红点或蓝点，鼠标右键选择存储数据。（数据按要求保存在指定的文件夹，以便数据的备份和刻录）

5.关机步骤：

（1）查看各个操作参数（灯丝电压、灯丝电流、数斑大小等），确认无任何异常状况。

（2）在Normal模式下把放大倍数调至最小；进人TV模式关灯丝Shutdown；降低样品台，并把样品台调至样品室中央。

（3）依次关掉操作软件控制栏，操作软件，系统状态栏，电脑系统。

（4）按下黄灯，待30秒后，再按下红灯。

6.电镜使用中的一些问题

（1）放大倍数不是越大越好。

（2）要搞清你做电镜分析的目的。

（3）不是什么样品都能达到分辨率的指标。

（4）要获得高质量的电镜照片，样品制备是一个重要的因素。

（5）好的设备，加上适当的样品处理和精心的操作才能得到高水平的电镜分析结果。